文章基本信息
- 标题：Transparent SiOxCyHz Barrier Film Prepared by PECVD with Upper and Lower Pair Electrode Rolls Structure
- 本地全文：下载
- 作者：Maojin Dong ; Xiaojun Wang ; Yudong Feng 等
- 期刊名称：IOP Conference Series: Earth and Environmental Science
- 印刷版ISSN：1755-1307
- 电子版ISSN：1755-1315
- 出版年度：2021
- 卷号：692
- 期号：3
- DOI：10.1088/1755-1315/692/3/032086
- 语种：English
- 出版社：IOP Publishing
