文章基本信息
- 标题：Author Correction: Precursor-surface interactions revealed during plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films by
in-situ spectroscopic ellipsometry - 本地全文：下载
- 作者：Ufuk Kilic ; Alyssa Mock ; Derek Sekora 等
- 期刊名称：Scientific Reports
- 电子版ISSN：2045-2322
- 出版年度：2021
- 卷号：11
- DOI：10.1038/s41598-021-86624-1
- 语种：English
- 出版社：Springer Nature
