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2024年08月31日 星期六
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文章基本信息
标题:
Effect of rare earth oxide CeO2 on the anodic bonding performance of PEG-based MEMS encapsulation materials
本地全文:
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作者:
Chao Du
;
Cuirong Liu
;
Xu Yin
等
期刊名称:
Advances in Mechanical Engineering
印刷版ISSN:
1687-8140
电子版ISSN:
1687-8140
出版年度:
2021
卷号:
13
期号:
3
页码:
1-9
DOI:
10.1177/16878140211007712
语种:
English
出版社:
Sage Publications Ltd.
摘要:
Herein, we synthesized a new polyethylene glycol (PEG)-based solid polymer electrolyte containing a rare earth oxide, CeO2, using mechanical metallurgy to prepare an encapsulation bonding material ...
关键词:
Polymer electrolyte; rare earth oxide; anodic bonding; MEMS encapsulation
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