文章基本信息
- 标题：イメージオルシコン用MgO薄膜ターゲットの構造
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- 作者：竹歳 和久 ; 渡辺 克巳
- 期刊名称：映像情報メディア学会誌
- 印刷版ISSN：1342-6907
- 电子版ISSN：1881-6908
- 出版年度：1967
- 卷号：21
- 期号：6
- 页码：410-416
- DOI：10.3169/itej1954.21.410
- 出版社：The Institute of Image Information and Television Engineers
- 摘要：
イメージオルシコン用MgOターゲットに若干みられる素地の粗さの発生原因, Csを蒸着したMgO膜の反転残像消失機構, A1, Mg二重膜の蒸着および酸化過程におけるAlの結晶学的役割などを調べるため, 蒸着装置付電子顕微鏡を考案し, これを用いてMgOターゲットの製作過程における結晶構造の変化を調べ, あわせてCsを蒸着したMgO膜の電気的諸特性を測定し, 前述の問題を明らかにした.
