半導体素子に高エネルギーの電子ビームを衝撃すると電流増倍が行われる.この種の研究は今世紀のはじめより報告されているが, 最近, EBS装置 (Electron Bombarded Semiconductor Devices) の名称で高周波増幅器として注目されだした.この現象の原理を紹介し, これを応用した高周波増幅管, パターン発生管, 光電子増倍管, 撮像管, データ蓄積管について解説する.