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  • 标题:2行同時独立読出しIL-CCDの提案
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  • 作者:中井 正章 ; 安藤 治久 ; 小野 秀行
  • 期刊名称:映像情報メディア学会誌
  • 印刷版ISSN:1342-6907
  • 电子版ISSN:1881-6908
  • 出版年度:1987
  • 卷号:41
  • 期号:11
  • 页码:1083-1090
  • DOI:10.3169/itej1978.41.1083
  • 出版社:The Institute of Image Information and Television Engineers
  • 摘要:

    色の解像度, 色モワレの点で有利な, 高画質化が可能な, 2行同時独立読出し方式による1/2インチIL-CCD撮像素子の提案を行った.2行分の画素信号を独立に, 1本の垂直CCDで転送できるようにするため, 多層配線構造により開口の劣化を抑えた, 高密度垂直CCDを開発した.さらに, フィールドプレートによる素子分離技術を用いた, 水平CCD間の電荷転送ロスの少ない並列水平CCD構造を実現した.また, 基本性能である感度を向上するため, (1) フィールドプレート構造により, 垂直CCDの狭チャンネル効果を低減し, 実効的に開口率を大きくする, (2) 横型オーバフローゲートによるブルーミング抑圧法を採用することにより, フォトダイオードの光電変換領域を深くし, 光感度を向上する, (3) フィールドプレートとオーバフローゲートを兼用し, 開口率の低下を抑えたFPOG (フィールドプレートオーバフローゲート) 構造を検討した.試作, 評価により, 高画質, 高感度のIL-CCDの実現見通しを得た.

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