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  • 标题:白色光の干渉を利用した非接触膜厚計
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  • 作者:吉崎 修 ; 田本 祐作
  • 期刊名称:日本写真学会誌
  • 印刷版ISSN:0369-5662
  • 电子版ISSN:1884-5932
  • 出版年度:1979
  • 卷号:42
  • 期号:5
  • 页码:314-319
  • DOI:10.11454/photogrst1964.42.314
  • 出版社:The Society of Photographic Science and Technolgy of Japan
  • 摘要:

    An automatic white-light interferometric thickness meter, which is suitable for the measurement of moving transparent double layer films, has been developed. According to our experiment, the desiable difference of refractive indicies was more than 0.3. The measuring accuracy of thickness meter was within ±0.5 μm tolerances which satisfied our intension.

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