文章基本信息
- 标题：전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron
$p^+$ Poly pMOSFET 제작 및 특성 - 本地全文：下载
- 作者：Kim, Cheon-Su ; Lee, Jin-Ho ; Yun, Chang-Ju 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1992
- 卷号：14
- 期号：1
- 页码：40-51
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
