文章基本信息
- 标题：전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron NMOSFET 제작 및 특성
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- 作者：Lee, Jin-Ho ; Kim, Cheon-Soo ; Lee, Heyung-Sub 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1992
- 卷号：14
- 期号：1
- 页码：52-65
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
