文章基本信息
- 标题：푸리에 변환 적외선 분광분석에 의한 에피층의 두께 측정 기술
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- 作者：Jeong, Seong-Hwa ; Kim, Sang-Gi ; Kwon, Oh-Joon 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1991
- 卷号：13
- 期号：2
- 页码：54-61
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
