文章基本信息
- 标题:RTA에 의한 $As^+$ 이온주입된 비정질층의 재결정화 연구
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- 作者:Kim, Sang-Gi ; Koak, Byung-Hwa ; Lee, Sang-Hwan 等
- 期刊名称:ETRI Journal
- 印刷版ISSN:1225-6463
- 电子版ISSN:2233-7326
- 出版年度:1991
- 卷号:13
- 期号:2
- 页码:62-69
- 语种:Korean
- 出版社:Electronics and Telecommunications Research Institute