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标题：티타늄 실리사이드 박막의 형성과정에 대한 연구
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作者：Lee, Jung-Hwan ; Lee, Sang-Hwan ; Gwon, O-Jun 等
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1989
卷号：11
期号：4
页码：50-56
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

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