文章基本信息
- 标题：
$BF_2^+$ 이온주입된 (100) 실리콘의 격자손상이 불순물 농도분포에 미치는 영향 - 本地全文：下载
- 作者：Baek, Mun-Cheol ; Lee, Sang-Hwan ; Gwak, Byeong-Hwa 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1989
- 卷号：11
- 期号：3
- 页码：43-64
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
