文章基本信息
- 标题：엘립소메츠리에 의한 이온주입 실리콘층의 특성연구
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- 作者：Kim, Sang-Ki ; Lee, Sang-Hwan ; Lee, Won-Hyong 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1988
- 卷号：10
- 期号：4
- 页码：140-145
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
