文章基本信息
- 标题:RSB를 이용한 As 이온 주입된 실리콘 시료분석
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- 作者:Lee, Sang-Hwan ; Gwon, O-Jun ; Lee, Won-Hyeong 等
- 期刊名称:ETRI Journal
- 印刷版ISSN:1225-6463
- 电子版ISSN:2233-7326
- 出版年度:1988
- 卷号:10
- 期号:3
- 页码:242-246
- 语种:Korean
- 出版社:Electronics and Telecommunications Research Institute