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标题：TEM을 이용한 Ion Implanted Sample의 관찰 및 분석
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作者：Baek, Mun-Cheol ; Gwon, O-Jun
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1987
卷号：9
期号：3
页码：106-114
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

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