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标题：SOI 제조기술 동향
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作者：Ma, Dae-Yeong ; Kim, Jin-Seop ; Gwak, Byeong-Hwa 等
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1987
卷号：9
期号：1
页码：146-157
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

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