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文章基本信息

  • 标题:マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響
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  • 作者:黒江 章郎 ; 村田 明夫 ; 村松 小百合
  • 期刊名称:映像情報メディア学会誌
  • 印刷版ISSN:1342-6907
  • 电子版ISSN:1881-6908
  • 出版年度:1997
  • 卷号:51
  • 期号:5
  • 页码:733-736
  • DOI:10.3169/itej.51.733
  • 出版社:The Institute of Image Information and Television Engineers
  • 摘要:マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響に関して検討した.片持組合せ梁のモデルを用いて導出した式の計算値と試作した複合構造のマイクロカンチレバーの測定共振周波数がほぼ一致し, 最高1.07MHzの共振周波数を実現した.
  • 关键词:AFM;マイクロカンチレバー;MFM;機械的共振;組合せ梁;片持梁
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