文章基本信息
- 标题：Piezoresistive temperature sensors fabricated by a surface micromachining CMOS MEMS process
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- 作者：Chunhua Cai ; Junyan Tan ; Di Hua 等
- 期刊名称：Scientific Reports
- 电子版ISSN：2045-2322
- 出版年度：2018
- 卷号：8
- 期号：1
- 页码：17065
- DOI：10.1038/s41598-018-35113-z
- 语种：English
- 出版社：Springer Nature
- 摘要：) and low heat capacity.
