文章基本信息
- 标题：Thermal conductivity of amorphous SiO2 thin film: A molecular dynamics study
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- 作者：Wenhui Zhu ; Guang Zheng ; Sen Cao 等
- 期刊名称：Scientific Reports
- 电子版ISSN：2045-2322
- 出版年度：2018
- 卷号：8
- 期号：1
- 页码：10537
- DOI：10.1038/s41598-018-28925-6
- 语种：English
- 出版社：Springer Nature
- 摘要：thin film in microelectronics.
