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文章基本信息

  • 标题:A soft lithographic approach to fabricate InAs nanowire field-effect transistors
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  • 作者:Sang Hwa Lee ; Sung-Ho Shin ; Morten Madsen
  • 期刊名称:Scientific Reports
  • 电子版ISSN:2045-2322
  • 出版年度:2018
  • 卷号:8
  • 期号:1
  • 页码:3204
  • DOI:10.1038/s41598-018-21420-y
  • 语种:English
  • 出版社:Springer Nature
  • 摘要:/Vs, indicating negligible material degradation during the SANE process.
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