出版社：Niğde Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Dekanlığı
摘要：Son yılların nanoteknoloji alanında en ilgi çekici ve en yoğun araştırılan malzemelerinden bir tanesi olan grafen; yüksek elektrik ve ısı iletkenliği, saydamlık ve yüksek dayanım gibi birçok üstün özellikleri ile opto-elektronikten medikal uygulamalara kadar geniş bir yelpazede kullanım alanına sahiptir. Grafen sentezinde en sık tercih edilen yöntemlerden biri kimyasal buhar biriktirme tekniği olup, bu teknikte kullanılan gazlar, alt-taş, alt-taş temizliği, sıcaklık, büyütme süresi, tavlama süresi, soğutma hızı ve basınç gibi birçok parametre grafen sentezinde etkilidir. Bu parametreler arasında sentez sürecini direkt olarak etkileyen en önemli faktörlerden bir tanesi alt-taş seçimi ve bunun temizlenme sürecidir. Bu çalışmada alt-taş olarak bakır tercih edilmiş olup, yüzey temizliğinin grafen sentezine olan etkisi detaylı olarak araştırılmıştır. Bu anlamda literatürde bilinen dört farklı yüzey temizleme işlemi, grafen sentezinde kullanılan bakır folyolar için uygulanmış ve elde edilen sonuçlar ortaya konmuştur. Sonuç olarak alt-taş temizliğinde grafen sentezini kolaylaştıran ve iyileştiren en etkili yöntem belirlenmiş ve bu yöntem ile tek katlı homojen grafen sentezi gerçekleştirilmiştir.
关键词：Grafen; CVD; Raman spektroskopisi; Alt-taş temizliği; HF; Standart temizlik
