摘要:Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui gambaran kompetensi, tingkat kepatuhan, efektifitas kinerja pengawas madrasah dan pelaksanaan program kepengawasan madrasah. Penelitian ini merupakan penelitian kausal komparatif (Causal-Comparative Research) dengan unit analisis yang diteliti adalah pengawas madrasah yang terdapat di wilayah Jakarta, Bogor, Depok, Tangerang dan Bekasi dengan jumlah sampel sebanyak 150 pengawas madrasah. Alat uji yang digunakan dalam penelitian ini menggunakan uji asumsi klasik yang meliputi uji normalitas, uji multikolonieritas, uji heteroskedastisitas dan uji linearitas. Metode analisis data yang digunakan adalah analisis regresi sederhana dan analisis regresi berganda. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa berdasarkan hasil analisis jalur diperoleh hasil, terdapat pengaruh positif kepatuhan pengawas terhadap kinerja pengawas, kompetensi pengawas terhadap kinerja pengawas, kepatuhan pengawas terhadap efektivitas pelaksanaan program kepengawasan dan kompetensi pengawas terhadap efektivitas pelaksanaan program kepengawasan madrasah serta kinerja pengawas terhadap efektivitas pelaksanaan program kepengawasan madrasah diwilayah Jabodetabek.