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标题：Efecto de la relación presión-mezcla N2/Ar en el proceso para películas delgadas de TiN
作者：Ortega de la Rosa Rubin ; Valdés Covarrubias Eduardo ; Franco Martínez Claudia Yvonne 等
期刊名称：Elementos
印刷版ISSN：0187-9073
出版年度：2006
卷号：13
期号：61
出版社：Benemerita Universidad Autonoma de Puebla