文章基本信息
- 标题："MARORA"—A Plasma Selective-oxidation Apparatus for Metal-gate Devices
- 本地全文：下载
- 作者：Tadashi Terasaki ; Masayuki Tomita ; Katsuhiko Yamamoto 等
- 期刊名称：Hitachi Review
- 印刷版ISSN：0018-277X
- 出版年度：2008
- 卷号：57
- 期号：03
- 出版社：Hitachi Ltd
- 关键词：Plasma Processing;Metallic Materials;Plasma Method;Semiconductor Devices
