摘要：En este trabajo se reporta la síntesis, la caracterización micro-estructural y las propiedades ópticas de películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3) depositadas sobre sustratos de silicio mediante el método de depósito químico de vapor asistido por aerosol (AACVD). Las películas depositadas fueron poli-cristalinas, uniformes, densas, no dispersoras de luz y firmemente adheridas al sustrato. Esto se dedujo de la realización de estudios de microscopía electrónica de alta resolución y de mediciones de espectros de reflectancia óptica. Las películas no fueron epitaxiales, sin embargo, se considera que son suficientemente lisas para ser empleadas en aplicaciones de guías de onda ópticas, dado que la rugosidad es muy baja comparada con la longitud de onda de la radiación con posibilidades de uso.
其他摘要：This work reports the synthesis, micro-structural characterization and optical properties of lithium niobate (LiNbO3) thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition (AACVD) on silicon substrates. The films deposited were polycrystalline, uniform, dense, nonlight scattering and firmly adhered to the substrate. This was deduced from high resolution electron microscopy studies and spectral reflectance measurements. The films were not epitaxial; however, they are considered smooth enough to be employed in optical waveguide applications, since their roughness is very low compared to the wavelength of the utilizable radiation.
关键词：LiNbO3 thin films; aerosol assisted chemical vapor deposition (AACVD); piezoelectric material; Películas delgadas de niobato de litio; depósito químico de vapor asistido por aerosol; material piezoeléctrico
