摘要：Este artículo presenta el análisis y diseño de microactuadores térmicos implementados en tecnología estándar de sistemas micro-electro-mecánicos (MEMS). Típicamente, este tipo de actuadores son accionados generando calor por el efecto Joule al formar un circuito eléctrico a través de su estructura física. Sin embargo, este procedimiento requiere corrientes relativamente altas con el correspondiente consumo de potencia. Como una alternativa a los microactuadores térmicos accionados eléctricamente, este trabajo explora la posibilidad de desarrollar microactuadores que puedan operar usando una fuente de calor externa y, por ejemplo, aprovechar el calor del ambiente circundante. Los resultados obtenidos demuestran la factibilidad de desarrollar microactuadores térmicos basados en tecnología MEMS capaces de extraer energía de una fuente de calor externa y operar de manera autónoma
其他摘要：This paper presents the thermal analysis and design of microactuators based on standard MEMS technology. The typical approach for driving this kind of actuators is by applying an electric current that flows through the device and generates Joule heating. However, this requires relatively large currents and the corresponding power consumption. As an alternative to electrically driven thermal actuators, this work explores the possibility of developing thermal actuators that can be activated with an external heat source and, for example, scavenge heat from the surrounding medium. Experimental results demonstrate the viability of exploiting thermal energy from the environment to power MEMS microactuators
