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  • 标题:Diseño y fabricación de un aparato para el depósito de películas delgadas por el método de rotación
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  • 作者:Iliana Ernestina Medina Ramírez ; Luis Enrique Arámbula Miranda ; Felipe Rizo Díaz
  • 期刊名称:Investigación y Ciencia
  • 印刷版ISSN:1665-4412
  • 出版年度:2009
  • 卷号:17
  • 期号:45
  • 页码:44-49
  • 语种:Spanish
  • 出版社:Universidad Autónoma de Aguascalientes
  • 摘要:La técnica de rotación se emplea ampliamente para el depósito de películas delgadas de diversos materiales. Se diseñó y construyó un aparato doméstico para el depósito de películas delgadas basado en el método de rotación. El equipo es compacto y ofrece un control digital, amplio rango de velocidades (desde 1 hasta 7500 rpm), estabilidad, etc. Para la primera fase del depósito, el aparato está programado para acelerar uniformemente de cero a 400 rpm en 30 segundos y permanecer en esta velocidad durante un minuto. En la segunda fase, el usuario puede elegir las condiciones de operación; es decir, velocidad y el tiempo.
  • 其他摘要:Spin-coating technique is a widely used coating method to produce thin films of numerous materials. A spin-coater apparatus was designed and built. The system offers digital control, wide speed range (from 1 to 7500 rpm), spin speed stability and compact size. The plate is spun in at least two stages which may be programmed. During the first stage, the plate is spun uniformly from zero to 400 rpm, and rotates at 400 rpm for one minute. During the second stage, the operation conditions (speed and time) can be determined by the operator.
  • 关键词:Depósito; películas delgadas; construcción; método de rotación; semiconductores;Deposition; thin films; spin coater; construction; spin coating; semiconductors
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