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1篇

出版年度

2020

1篇

作者

	Anastasia B. Speshilova	1篇
	Armenak A. Osipov	1篇
	Artem A. Osipov	1篇
	Ekaterina V. Endiiarova	1篇
	Gleb A. Iankevich	1篇

	Irina A. Tyurikova	1篇
	Kirill S. Tyurikov	1篇
	Sergey E. Alexandrov	1篇
	Vladimir I. Berezenko	1篇

文章类型

Research Article

1篇

来源期刊

Scientific Reports

1篇

学科主题

自然科学总论

1篇

语种

英文

1篇

国别/地区

英国

1篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Gleb A. Iankevich")))) )) ) )"

共 1 条记录

排序：全选导出：

1.High-temperature etching of SiC in SF 6 /O 2 inductively coupled plasma

作　　者：Artem A. Osipov ;Gleb A. Iankevich ;Anastasia B. Speshilova 等

出　　处：Scientific Reports. 2020 ;10(1):1-10.doi:10.1038/s41598-020-77083-1

出版社：Springer Nature

文章 ID：257422130

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1

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