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1篇

出版年度

2002

1篇

作者

	Bae, Yoon-Kyu	1篇
	Kim, Bo-Woo	1篇
	Kim, Byung-Whan	1篇
	Kwon, Kwang-Ho	1篇
	Kwon, Sung-Ku	1篇

	Park, Jong-Moon	1篇
	Park, Kun-Sik	1篇
	Yoo, Seong-Wook	1篇

来源期刊

ETRI Journal

1篇

学科主题

	应用物理学	1篇
	电信	1篇

语种

英文

1篇

国别/地区

韩国

1篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Kwon, Sung-Ku")))) )) ) )"

共 1 条记录

排序：全选导出：

1.Characterization of Via Etching in $CHF_3/CF_4$ Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Using Neural Networks

作　　者：Kwon, Sung-Ku ;Kwon, Kwang-Ho ;Kim, Byung-Whan 等

出　　处：ETRI Journal. 2002 ;24(3):211-211.

出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

文章 ID：114421838

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