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1篇

出版年度

2022

1篇

作者

	Cheng Tu	1篇
	Lei Li	1篇
	Ming-hong Yang	1篇
	Xiao-Sheng Zhang	1篇
	Xiu-mei Lv	1篇

Zi-qiang Zhang

1篇

来源期刊

Research

1篇

语种

英文

1篇

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共 1 条记录

排序：全选导出：

1.Highly Sensitive Temperature Sensor Based on Coupled-Beam AlN-on-Si MEMS Resonators Operating in Out-of-Plane Flexural Vibration Modes

作　　者：Cheng Tu ;Ming-hong Yang ;Zi-qiang Zhang 等

出　　处：Research. 2022 ;2022:1-9.doi:10.34133/2022/9865926

出版社：American Association for the Advancement of Science

文章 ID：1039218507

文章详细

1

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