首页期刊浏览 2025年02月20日星期四

登录注册

全文

有本地全文

1篇

出版年度

2005

1篇

作者

	Akira Kagoshima	1篇
	Daisuke Shiraishi	1篇
	Junichi Tanaka	1篇
	Shoji Ikuhara	1篇

来源期刊

Hitachi Review

1篇

学科主题

电子工业

1篇

语种

英文

1篇

国别/地区

日本

1篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Shoji Ikuhara")))) )) ) )"

共 1 条记录

排序：全选导出：

1.High-accuracy Etching System with Active APC Capability

作　　者：Shoji Ikuhara ;Akira Kagoshima ;Daisuke Shiraishi 等

出　　处：Hitachi Review. 2005 ;54(1).

出版社：Hitachi Ltd

文章 ID：40348893

文章详细全文下载

1

电话：010-85195300

E-mail：cassoa@cass.org.cn

地址：中国北京建国门内大街5号中国社会科学院1#楼

扫一扫关注微信

联系我们|关于我们|网站声明

国家哲学社会科学文献中心版权所有