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1篇

出版年度

2008

1篇

作者

	Efremov, Alexander M.	1篇
	Kim, Man-Su	1篇
	Kwon, Kwang-Ho	1篇
	Lee, Hyun-Woo	1篇
	Min, Nam-Ki	1篇

Yun, Sun-Jin

1篇

来源期刊

ETRI Journal

1篇

学科主题

	应用物理学	1篇
	电信	1篇

语种

英文

1篇

国别/地区

韩国

1篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Min, Nam-Ki")))) )) ) )"

共 1 条记录

排序：全选导出：

1.Model-Based Analysis of the $ZrO_2$ Etching Mechanism in Inductively Coupled $BCl_3$/Ar and $BCl_3/CHF_3$/Ar Plasmas

作　　者：Kim, Man-Su ;Min, Nam-Ki ;Yun, Sun-Jin 等

出　　处：ETRI Journal. 2008 ;30(3):383-393.

出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

文章 ID：114421228

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