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2篇

出版年度

	2021	1篇
	2018	1篇

作者

	P. Lefaucheux	2篇
	R. Dussart	2篇
	T. Tillocher	2篇
	G. Antoun	1篇
	J. Faguet	1篇

	J.-F. de Marneffe	1篇
	K. Maekawa	1篇
	L. Zhang	1篇
	R. Chanson	1篇
	S. De Gendt	1篇
	S. Naumov	1篇
	Yu. A. Mankelevich	1篇

文章类型

Research Article

1篇

来源期刊

Scientific Reports

2篇

学科主题

自然科学总论

2篇

语种

英文

2篇

国别/地区

英国

2篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("T. Tillocher")))) )) ) )"

共 2 条记录

排序：全选导出：

1.Damage-free plasma etching of porous organo-silicate low-k using micro-capillary condensation above −50 °C

作　　者：R. Chanson ;L. Zhang ;S. Naumov 等

出　　处：Scientific Reports. 2018 ;8(1):1886.doi:10.1038/s41598-018-20099-5

出版社：Springer Nature

文章 ID：230254667

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2.Mechanism understanding in cryo atomic layer etching of SiO 2 based upon C 4 F 8 physisorption

作　　者：G. Antoun ;T. Tillocher ;P. Lefaucheux 等

出　　处：Scientific Reports. 2021 ;11(1):357.doi:10.1038/s41598-020-79560-z

出版社：Springer Nature

文章 ID：258488286

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